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真空発生器VZ
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■ LED表示付圧力センサ仕様■ 圧力表示無し圧力センサ仕様318VZ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料仕 様-DW（LED表示付2点スイッチ出力付）-DA（LED表示付1点スイッチ出力、アナログ出力付）消費流量40mA以下圧力検出方法拡散半導体圧力スイッチ使用圧力範囲-100～0kPa設定圧力範囲-99～0kPa耐圧力0.2MPa供給電圧DC12～24V ±10%リップル（P-P）10%以下圧力設定点数21動作精度±3%F.S.以下（at Ta=25℃）応 差固定（2%F.S.以下）可変（約0～15%F.S.）スイッチ出力NPNオープンコレクタ（30V 80mA以下、残留電圧0.8V以下）アナログ出力出力電圧1～5Vゼロ点電圧1 ±0.1Vスパン電圧4 ±0.1V出力電流1mA以下（負荷抵抗：5kΩ以上）LIN／HYS±0.5%F.S.以下（at Ta=25℃）応答性約2msec表 示-99～0kPa（2桁 赤色LED点灯）表示回数約4回／sec表示精度±3%F.S. ±2 digit以下分解能1 digitスイッチ動作表示灯SW1：設定圧力以上にて赤色LED点灯設定圧力以上にて赤色LED点灯SW2：設定圧力以上にて緑色LED点灯※）圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。仕 様-S（1点スイッチ出力付）-V1（1点アナログ出力付負圧仕様）-R1（1点アナログ出力付連正圧仕様）定格電圧DC10.8～30V（含リップル）消費流量20mA以下圧力検出方法拡散半導体圧力スイッチ耐圧力0.2MPa使用圧力範囲-100～0kPa-100～300kPa動作温度範囲0～60℃（凍結なきこと）動作湿度範囲35～85%RH（結露なきこと）保護構造IEC規格 IP40相当スイッチ出力出力方式NPNオープンコレクタ（30V 80mA以下 残留電圧0.8V以下）出力点数1設定圧力範囲-99～0kPa動作精度±3%F.S.（at Ta=25℃）応 差固定（2%F.S.以下）アナログ出力出力電圧1～5Vゼロ点電圧1 ±0.1Vスパン電圧4 ±0.1V出力電流1mA以下（負荷抵抗：5kΩ以上）直線性／ヒステリシス±0.5%F.S.スイッチ動作表示灯N.O.（設定圧力以上にて赤色LED点灯）※）圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。※）圧力表示器の仕様については、P.995をご覧ください。
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