真空発生器VQ

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真空発生器Series真空発生器VQVH · VS141VUVBVM · VCVGVQVYVUMVRLVVV真空発生器■ 注文形式（例）VQ0③真空ポートサイズT15①真空特性、ノズル径0④エア供給ポートサイズ真空発生器大流量タイプNW⑦圧力センサ仕様⑧金属部材質③.真空ポート(適用チューブサイズ)C②真空発生用バルブS⑤排気方法(EX)D24⑥パイロットバルブ仕様①.真空特性、ノズル径②.真空発生用バルブ④.エア供給ポート(適用チューブサイズ)⑤.排気方法(EX)記　号サイズ(mm)6 (※)ø6（ワンタッチ継手）記　号真空特性ノズル径（mm）定格供給圧力（MPa）真空度（kPa）吸込流量（ℓ/min［ANR］）消費流量（ℓ/min［ANR］）H15シングルノズルタイプ高真空度形ø1.50.5-9363〔63〕100L15大流量形-6695〔95〕E15低供給圧力高真空度形0.35-9242〔42〕70H20高真空度形ø2.00.5-9396〔97.5〕200L20大流量形-66143〔160〕E20低供給圧力高真空度形0.35-9270〔70〕150D072段ノズルタイプø0.70.5-9352〔52〕23D10ø1.075〔75〕46D12ø1.285〔85〕70T15ツインノズルタイプø0.70.5-9324〔24〕23ø1.540〔40〕100T20ø1.036〔36〕46ø2.070〔70〕200※）吸込流量は、左が真空ポートサイズ：ø8mm、〔　〕内が真空ポートサイズ：ø10mmの時の数値となります。※）表中の数値は代表値です。吸込流量は真空配管条件（真空ポート径、配管長さ）により異なります。記　号Cバルブタイプノーマルクローズタイプ（常時閉型）8ø8（ワンタッチ継手）0ø10（ワンタッチ継手）記　号サイズ(mm)8ø8（ワンタッチ継手）0ø10（ワンタッチ継手）記　号方　法S大気開放タイプJ集中排気タイプ（ø12mmワンタッチ継手）記　号Oバルブタイプノーマルオープンタイプ（常時開型）記　号Dバルブタイプダブルソレノイドタイプ（保持型）※1.①でツインノズルタイプを選定した場合、ノーマルクローズタイプ（記号：C）のみ。※2.①で2段ノズルタイプを選定した場合、ノーマルクローズタイプ（記号：C）、またはノーマルオープンタイプ（記号：O）のみ。※. ø6mmは、①で2段ノズルタイプを選定した場合のみ。※.大気開放タイプには、-S3仕様の設定がありません。