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真空発生器VX
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252VZVNVX真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料■ 特性0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VXH07, VXL07, VXE07真空特性流量特性02010304050HタイプEタイプLタイプ(大気開放)Lタイプ(集中排気)供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量Eタイプ到達真空度0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VXH05, VXL05, VXE05真空特性流量特性02010304050HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量Eタイプ到達真空度0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VXH10□-□□J, VXE10□-□□J真空特性流量特性040206080100Hタイプ(大気開放)Hタイプ(集中排気)Eタイプ(大気開放)Eタイプ(集中排気)供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量(集中排気)Eタイプ吸込流量(集中排気)消費流量Eタイプ到達真空度0.2010203040–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VXH10□-□□S, VXL10□-□□S, VXE10□-□□S真空特性流量特性040206080100Hタイプ(大気開放)LタイプHタイプ(集中排気)Eタイプ(大気開放)Eタイプ(集中排気)供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量(大気開放)Eタイプ吸込流量(大気開放)Lタイプ吸込流量(φ4大気開放)消費流量Eタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量(φ6大気開放)■ 単体タイプの質量表■ マニホールドタイプの質量表供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量質量(g)818478817174ユニット内容大気開放、LED表示付圧力センサ付集中排気、LED表示付圧力センサ付大気開放、アナログ出力圧力センサ付集中排気、アナログ出力圧力センサ付大気開放、圧力センサ無し集中排気、圧力センサ無し形式VX□□□-□□S-□-D□VX□□□-□□J-□-D□VX□□□-□□S-□-A0VX□□□-□□J-□-A0VX□□□-□□S-□VX□□□-□□J-□質量(g)310330マニホールド搭載ユニット内容大気開放、LED表示付圧力センサ付、2連マニホールド集中排気、LED表示付圧力センサ付、2連マニホールド形式VX□□□-□□S-□□-D□-M02VX□□□-□□□-□□-D□-M02※1. 1連増加毎に、90g重くなります。※2. 上記の質量は、LED表示付圧力センサ搭載タイプの物です。アナログ出力圧力センサ（無表示圧力センサ）搭載タイプは上記の質量より3g/連、圧力センサ無しタイプは上記質量より10g/連、それぞれ軽くなります。※1. DINレール取付けタイプは、上記の質量よりも約5g重くなります。
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