真空発生器VJ

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224VH・VS単体タイプVUVUMVYVBVM・VCVVVVLMVRLVG総合タイプVQVKVJVXVNVZ真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空発生器0051015–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VJH05, VJL05真空特性流量特性0510152020HタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)00102030–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VJH07, VJL07, VJE07真空特性流量特性0102030405040HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量00102030–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VJH10, VJL10, VJE10真空特性流量特性01020304050607040HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量00102030–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VJH12, VJL12, VJE12真空特性流量特性02040608010040HタイプEタイプ供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量消費流量供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量■ 特性