222VH・VS単体タイプVUVUMVYVBVM・VCVVVVLMVRLVG総合タイプVQVKVJVXVNVZ真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空発生器(OFF)(ON)PSV(OFF)(OFF)PSV(ON)(OFF)V(OFF)(ON)PSV(OFF)(OFF)(ON)(OFF)V例）VJ□□A-□□□-□□-□□-□ (バルブタイプ：ダブルソレノイドタイプ(保持型))①休止状態②真空発生時真空破壊流量調整ニードル真空発生用電磁弁リリーフ圧量調整用ニードル真空破壊用電磁弁真空発生用切換弁真空破壊用切換弁エジェクタフィルタ圧力センサ③真空保持状態④真空破壊時真空発生用切換弁保持リリーフエア例）VJ□□B-□□□-□□-□□-□ (バルブタイプ：ノーマルクローズタイプ(常時閉))①休止状態②真空発生時真空破壊流量調整ニードル真空発生用電磁弁リリーフ圧量調整用ニードル真空破壊用電磁弁真空発生用切換弁真空破壊用切換弁エジェクタフィルタ圧力センサ③真空保持状態④真空破壊時リリーフエア■ 動作説明図
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