198VZVNVXVJVK真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料VKALEDLED4436ø3.51061058339.5500163.854181893.55～9真空破壊用電磁弁真空発生用電磁弁｝｝528EXVPマニュアルボタンマニュアルボタンマニホールド時、側面ポート側マニホールド仕様 上部ユニット部ユニット連結ネジ(マニホールド取付用ネジ部)47.547.5ø3.2破壊弁（電磁弁式）、供給バルブ、フィルタ内蔵型SRSRVKA□□□S……E or F(組み合わせ記号：Sタイプ、 真空発生器、真空発生用電磁弁(ノーマルクローズ)、 電磁弁式真空破壊弁、フィルタ付)VKA□□□S……G or H(組み合わせ記号：Sタイプ、 真空発生器、真空発生用電磁弁(ノーマルオープン)、 電磁弁式真空破壊弁、フィルタ付)S TypeS TypeVKALEDLED4436ø3.51061058115009.5500163.854181893.55～9528EXVP黒：N.O赤：N.C白：Comマニュアルボタンマニュアルボタンユニット連結ネジ(マニホールド取付用ネジ部)マニホールド時、側面ポート側マニホールド仕様 上部ユニット部機械式圧力センサ47.547.5ø3.2破壊弁（電磁弁式）、圧力センサ（メカ式）、供給バルブ、フィルタ内蔵型SRSRVKA□□□T……E or F(組み合わせ記号：Tタイプ 真空発生器、真空発生用電磁弁(ノーマルクローズ)、 電磁弁式真空破壊弁、フィルタ、機械式圧力センサ付)VKA□□□T……G or H(組み合わせ記号：Tタイプ 真空発生器、真空発生用電磁弁(ノーマルオープン)、 電磁弁式真空破壊弁、フィルタ、機械式圧力センサ付)T TypeT Type回路図形 式VKA□□□S……回路図形 式VKA□□□T……
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