真空発生器VK

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真空発生器Series真空発生器VKVH · VS185VUVBVM · VCVGVQVKVYVUMVRLVVV真空発生器■ 特性005101520–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VKAH05, VKAL05, VKBH05, VKBL05, VKMH05, VKML05真空特性流量特性05101520HタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量消費流量0010203040–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VKAH07, VKAL07, VKAE07, VKBH07, VKBL07, VKBE07, VKMH07, VKML07, VKME07真空特性流量特性01020304050HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)0010203040–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VKAH10, VKAL10, VKAE10, VKBH10, VKBL10, VKBE10, VKMH10, VKML10, VKME10真空特性流量特性010203040506070HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)001020304050–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VKAH12, VKAL12, VKAE12, VKBH12, VKBL12, VKBE12, VKMH12, VKML12, VKME12真空特性流量特性0204060100HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Lタイプ吸込流量供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量