真空発生器VLM

9/12

)2※(821)3※(3415970404125741-293152※54-25...5..5.91.7651-221-2162-15361631424059196.5サイレンサ側面取出し時5078エア供給ポート（P）：Rc1/4センサ接続ポート：Rc1/8真空ポート（V）：Rc3/4またはRc1センサ接続ポート：Rc1/8排気ポート（EX）：Rc3/4110(※1)39.5(※3)80.7(※3)サイレンサ、回転排気具使用時排気ポート（EX）：3-Rc3/4単位：mm質量（g）1,8281,8481,9301,9502,1402,160価格（￥）74,10080,30083,10089,30089,10095,300※1）サイレンサ取付け時の参考値。　※2）エンドキャップ取付け時の参考値。　※3）サイレンサ、回転排気具取付け時の参考値。※4）価格表注文形式内の■には真空ポートサイズを4ページの注文形式（例）から選択してご記入ください。※5）外観図に掲載したブラケットの取付け方は、ほんの一例にすぎません。ブラケット取付方法については、2ページを参考にしてください。サイレンサ無し時⇒3：無記入サイレンサ側面取出し時⇒3：S1サイレンサ、回転排気具使用時⇒3：S2基本形式VLM H165-202VLM H166-202VLM H165-202-S1VLM H166-202-S1VLM H165-202-S2VLM H166-202-S2http://www.pisco.co.jp/積層3段、ノズル5個仕様積層3段、ノズル6個仕様形　式：VLM H165-202-3 　　　 VLM H166-202-3