)2※(821)3※(34159704125741-259952※552-154-21.7651-25.21-2.....816423616314059196.5サイレンサ側面取出し時5078エア供給ポート（P）：Rc1/4センサ接続ポート：Rc1/8真空ポート（V）：Rc3/4またはRc1センサ接続ポート：Rc1/8排気ポート（EX）：Rc3/4110(※1)39.5(※3)80.7(※3)サイレンサ、回転排気具使用時排気ポート（EX）：2-Rc3/4単位：mm質量（g）1,3581,3931,4261,4611,5661,601価格（￥）50,80057,00056,80063,00060,80067,000※1）サイレンサ取付け時の参考値。 ※2）エンドキャップ取付け時の参考値。 ※3）サイレンサ、回転排気具取付け時の参考値。※4）価格表注文形式内の■には真空ポートサイズを4ページの注文形式（例）から選択してご記入ください。※5）外観図に掲載したブラケットの取付け方は、ほんの一例にすぎません。ブラケット取付方法については、2ページを参考にしてください。サイレンサ無し時⇒3：無記入サイレンサ側面取出し時⇒3：S1サイレンサ、回転排気具使用時⇒3：S2基本形式VLM H163-202VLM H164-202VLM H163-202-S1VLM H164-202-S1VLM H163-202-S2VLM H164-202-S2積層2段、ノズル3個仕様積層2段、ノズル4個仕様大流量真空発生器VLM形 式：VLM H163-202-3 VLM H164-202-3
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