真空発生器VLM
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①REBD4(2個/セット(※))(2個/セット)R①Rc3/4R3/4R3/4Rc1/2R3/4R1/8※.ダミープラグは、ノズル本数を減らしたい時に必要となります。供給ポートサイズ▶02:Rc1/4(管用テーパメネジ)②.真空ポートサイズノズルセット(ディフューザ(0リング)、ノズル3(Oリング+チェックパッキン+カバー))、ノズル2(Oリング+チェックパッキン+カバー))、ノズル1(0リング)センサ接続ポート用止め栓①.ノズル仕様真空特性▶H:高真空大流量形(定格供給圧力:0.5MPa、到達真空度:-94kPa)大流量真空発生器VLM①.パーツ名大流量真空発生器VLMサイレンサ(本体直付け及び回転排気具取付け用)161, 162163, 164(積層段数:2段)サイレンサ無し、エンドキャップ×1個付サイレンサ×2個、エンドキャップ×1個付サイレンサ×2個、回転排気具×2個、エンドキャップ×3個付08Rc11641654個5個ダミープラグ165, 166(積層段数:3段)サイレンサ無し、エンドキャップ×1個付サイレンサ×3個、エンドキャップ×1個付サイレンサ×3個、回転排気具×3個、エンドキャップ×4個付※.全品VLM固定用のブラケット×2個とプレッシャゲージポート用止め栓付です。1663段6個記 号積層段数ノズル数量吸込流量290ℓ/min[ANR]550ℓ/min[ANR]760ℓ/min[ANR]890ℓ/min[ANR]1,020ℓ/min[ANR]1,110ℓ/min[ANR]消費流量110ℓ/min[ANR]220ℓ/min[ANR]330ℓ/min[ANR]440ℓ/min[ANR]550ℓ/min[ANR]660ℓ/min[ANR]記 号管用テーパメネジサイズ1611621段1個記 号品 名回転排気具エンドキャップブラケット③.排気ポート仕様(接続形状:管用テーパメネジ、接続サイズ:Rc3/4)ブッシュ(真空ポート(Rc3/4)へ弊社ワンタッチ継手(ネジサイズ:R1/2)を接続する場合に使用)記 号(積層段数:1段)無記入サイレンサ無し、エンドキャップ×1個付S1サイレンサ×1個、エンドキャップ×1個付S2サイレンサ×1個、回転排気具×1個、エンドキャップ×2個付06Rc3/41632段2個3個VVVSR06R3/406②02S1③PF06-04注文形式(例)VLMH161パーツの注文形式(例)VLMVLMH16-NSPP01-A大流量真空発生器VLM

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