ノズル1, 2ノズル310ディフューザ※ケースパッキンの脱落に注意。固定ネジ×8本ノズルクリップトップケースメンテナンスの際は、怪我に十分注意し、作業を行ってください。①.製品裏面の固定ネジ（8本）、トップケース、ノズルクリップを外します。②.本体からディフューザを取出します。③.本体からノズル3、ノズル1, 2の順に取出します。（ノズル1, 2が組付けられた状態で一緒に外します。）④.ノズル、ディフューザなどの各部、パッキンなどのシール部の付着物をエアブロー、及び拭き取りにより除去します。⑤.分解した手順の逆の手順で本体にノズル1, 2、ノズル3、ディフューザを組付けノズルクリップを取付けます。固定ネジを締付ける際は、締付けトルク：1N·m〜1.2N·mにて締付けてください。また、ケースパッキンの脱落にも注意してください。組付け順分解順大流量真空発生器VLMメンテナンス方法■ノズル・ディフューザの清掃（メンテナンス）は次の手順により行ってください。
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