66VZVNVXVJVKVQVGVM · VCVBVUVH · VSVYVUMVRLVVV真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料1：弾性体スリーブ (NBR)シーロック加工(※3)チューブ開放リング (POM)ロック爪 (ステンレス)1：Oリング (NBR)樹脂本体 (PBT)1：金属本体 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)1：ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)■ 構造図（電磁弁直付形エルボタイプ：VHの場合）排気継手(アルミニウム)1：ノズル (黄銅、無電解ニッケルメッキ)1：ディフューザ(黄銅、無電解ニッケルメッキ)Yパッキン (NBR)破壊ニードル (特殊ステンレス)チューブ樹脂本体 (PBT)■ 構造図（破壊機能付タイプ：VYの場合）サイレンサエレメント(PVF)スリーブ(黄銅、無電解ニッケルメッキ)カートリッジエンドプラグ (黄銅、無電解ニッケルメッキ)上栓 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)栓2 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)ノズルピストン (黄銅、無電解ニッケルメッキ)ディフューザスプール (黄銅、無電解ニッケルメッキ)スプールパッキン (HNBR)ディフューザスプリング (ステンレス)ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)弾性体スリーブ (NBR)開放リング (POM)Oリング (NBR)ロックナット (アルミニウム)スプリングピン (ステンレス)ロック爪 (ステンレス)2：ディフューザ(特殊ステンレス(オーステナイト系またはフェライト系)※2)2：金属本体 (特殊ステンレス(オーステナイト系またはフェライト系)※2)2：Oリング (HNBR)2：ノズル (特殊ステンレス(オーステナイト系またはフェライト系)※2)2：弾性体スリーブ (HNBR)2：ガイドリング (特殊ステンレス(オーステナイト系またはフェライト系)※2)1：ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)2：ガイドリング (特殊ステンレス(オーステナイト系またはフェライト系)※2)1：弾性体スリーブ (NBR)2：弾性体スリーブ (HNBR)ロック爪 (ステンレス)開放リング (POM)チューブ※1.上記構造図中の1は標準仕様時の材質を、2は銅系金属不使用仕様時の材質をそれぞれ表します。※2.耐腐蝕性はSUS303相当となります。※3.標準仕様のM5, M6ネジにはガスケット材質（SUS304 + NBRまたはSPCC + NBR）を、銅系金属不使用仕様のM5, M6ネジには、ガスケット材質（POM）をそれぞれ標準装備しております。
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