真空発生器

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98VZVNVXVJVKVQVGVM · VCVBVUVH · VSVYVUMVRLVVV真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料■ 特性※真空到達時間グラフ内の※真空到達時間グラフ内の■■の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。　詳細につきましては、下記をご覧ください。　詳細につきましては、下記をご覧ください。　①UB01810 (L: 500) ②UB01810 (L: 1,000) ③UB0320 (L: 500) ④UB01810 (L: 2,000)　①UB01810 (L: 500) ②UB01810 (L: 1,000) ③UB0320 (L: 500) ④UB01810 (L: 2,000)　⑤UB0425 (L: 500) ⑥UB0320 (L: 1,000) ⑦UB0425 (L: 1,000) ⑧UB0320 (L: 2,000) ⑨UB0425 (L: 2,000)　⑤UB0425 (L: 500) ⑥UB0320 (L: 1,000) ⑦UB0425 (L: 1,000) ⑧UB0320 (L: 2,000) ⑨UB0425 (L: 2,000)0.160.220.280.340.400.460.520.580.640.700012345678910–13kPa0.51.01.52.02.5–10供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min[ANR])容積 (ml)到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min[ANR])VCH03, VMH03真空特性流量特性12345678真空到達時間供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min[ANR])到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min[ANR])VCH04, VMH04真空特性流量特性供給圧力：0.5MPa–20–30–40–50–60–70–80–90–100–10真空到達時間 (msec)1002003004005006007008009001,000–20–30–40–50–60–70–80–90–100吸込流量消費流量到達真空度吸込流量消費流量到達真空度0.160.220.280.340.400.460.520.580.640.70012345–10供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min[ANR])到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min[ANR])VCL03, VML03真空特性流量特性124681012142345678供給圧力：0.5MPa–20–30–40–50–60–70–80–90–100–10–20–30–40–50–60–70–80–90–1000.160.220.280.340.400.460.520.580.640.70–10–20–30–40–50–60–70–80–90–100吸込流量消費流量到達真空度吸込流量吸込流量吸込流量消費流量消費流量消費流量到達真空度到達真空度到達真空度01234供給圧力：0.5MPa–10–20–30–40–50–60–70–80–90–100–86kPa–80kPa–66kPa–53kPa–40kPa–26kPa–86kPa–80kPa–66kPa–53kPa–40kPa–26kPa①②③&④⑤⑥⑦⑧⑨012345678910–13kPa容積 (ml)真空到達時間真空到達時間 (msec)50600100150200250300350400450500550–86kPa–80kPa–66kPa–53kPa–40kPa–26kPa–86kPa–80kPa–66kPa–53kPa–40kPa–26kPa012345678910容積 (ml)真空到達時間真空到達時間 (msec)101102030405060708090100–53kPa–40kPa–26kPa–53kPa–40kPa–26kPa–13kPa–13kPa0.160.220.280.340.400.460.520.580.640.7001–10供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min[ANR])到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min[ANR])VCL04, VML04真空特性流量特性2468101223456789供給圧力：0.5MPa–20–30–40–50–60–70–80–90–100–10–20–30–40–50–60–70–80–90–100吸込流量消費流量到達真空度吸込流量消費流量到達真空度012345678910容積 (ml)真空到達時間真空到達時間 (msec)10702030405060–53kPa–40kPa–26kPa–53kPa–40kPa–26kPa–13kPa–13kPa①②③&④⑤⑥⑦⑧⑨①②③&④⑤⑥⑦⑧⑨①②③&④⑤⑥⑦⑧⑨