真空発生器

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真空発生器Series真空発生器VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VYVH · VS69VUVBVM · VCVYVUM真空発生器■ 特性005101520–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VHH05, VHL05, VSH05, VSL05, VBH05, VBL05真空特性流量特性Hタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量Lタイプ到達真空度05101520HタイプLタイプ00102030–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VHH07, VHL07, VHE07, VSH07, VSL07, VSE07, VBH07, VBL07, VBE07, VCH07, VCL07, VCE07真空特性流量特性0102030405040HタイプEタイプLタイプHタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)0010203040–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VHH10, VHL10, VHE10, VSH10, VSL10, VSE10, VBH10, VBL10, VBE10, VCH10, VCL10, VCE10真空特性流量特性010203040506070HタイプEタイプLタイプHタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)0010203040–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VHH12, VHE12, VSH12, VSE12, VBH12, VBE12, VCH12, VCE12真空特性流量特性020406080100HタイプEタイプHタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)0.35MPa (Eタイプ)0020406080–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VHH15, VHL15, VHE15, VSH15, VSL15, VSE15, VCH15, VCL15, VCE15真空特性流量特性020406080100120140HタイプEタイプLタイプHタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)005101520–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VUH05, VUL05, VMH05, VML05, VCH05, VCL05真空特性流量特性05101520HタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量0010203040–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VUH07, VUL07, VUE07真空特性流量特性01020304050HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0050100150–13–26–40–53–66–80–93–13–26–40–53–66–80–930.10.20.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VCH20, VCL20, VCE20真空特性流量特性0100200300HタイプEタイプLタイプHタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Lタイプ到達真空度Lタイプ吸込流量供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量