プレッシャコントローラ

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制御Seriesプレッシャコントローラ565継　手制御機器速度制御弁速度制御弁耐腐蝕用速度制御弁クリーン速度制御弁耐スパッタニードル弁ニードル弁耐腐蝕用ニードル弁クリーン急速排気弁排気絞り弁固定絞り弁圧力制御弁固定式速度制御弁ニードル弁耐スパッタ■ 流量特性000.10.20.30.40.50.60.7206040801001401201601002004003005006000.10.20.30.40.50.60.70.8流量 (l/min(ANR))流量 (l/min(ANR))1次圧 (MPa)制御流(1次圧0.7MPa)2次圧 (MPa)JPC 6-02 8-02 10-02JPS 6-02 8-02 10-02自由流000.10.20.30.40.50.60.7408012016024020028020040060080010000.10.20.30.40.50.60.70.8流量 (l/min(ANR))流量 (l/min(ANR))1次圧 (MPa)制御流(1次圧0.7MPa)2次圧 (MPa)JPC 8-03 10-03 12-03JPS 8-03 10-03 12-03自由流000.10.20.30.40.50.60.7100501502002503003505001000150020000.10.20.30.40.50.60.70.8流量 (l/min(ANR))流量 (l/min(ANR))1次圧 (MPa)制御流(1次圧0.7MPa)2次圧 (MPa)JPC 12-04JPS 12-04自由流000.10.20.30.40.50.60.7204010305070906080100501001502002503000.10.20.30.40.50.60.70.8流量 (l/min(ANR))流量 (l/min(ANR))1次圧 (MPa)制御流(1次圧0.7MPa)2次圧 (MPa)JPC 4-01 6-01 8-01JPS 4-01 6-01 8-01自由流000.10.20.30.40.50.60.7102030405060204060801000.10.20.30.40.50.60.70.8流量 (l/min(ANR))流量 (l/min(ANR))1次圧 (MPa)制御流(1次圧0.7MPa)2次圧 (MPa)JPC 4-M5 6-M5JPS 4-M5 6-M5自由流エルボタイプ・ストレートタイプ

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