スピードコントローラスパッタ
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468http://www.pisco.co.jp/チューブ手動弁調質機器制御機器受注生産品技術資料速度制御弁耐スパッタニードル弁ニードル弁耐腐蝕用ニードル弁クリーン急速排気弁排気絞り弁固定絞り弁圧力制御弁圧力ゲージ逆止弁消音器固定式速度制御弁ニードル弁耐スパッタ■ 接続部着脱方法1.チューブの着脱方法①.チューブの装着 スピードコントローラスパッタ(耐スパッタ用ワンタッチ継手付速度制御弁)は、チューブをチューブエンドまで差し込むだけでロック爪が固定、弾性体スリーブがチューブの外周をシールします。 装着の際は、掲載商品の注意事項「6.チューブ装着上の注意」を参考に装着してください。②.チューブの取外し チューブを取外す場合、開放リングを押すことによりロック爪が開き、チューブを抜くことができます。 取外しの際は、必ずエアを止めてから行ってください。2.ネジの締付方法①.ネジの締付け ネジの締付けは、外径六角部をスパナで締付けます。(詳細は、本文を参照ください。) 締付ける際は、制御の共通注意事項「2.本体取付上の注意」の表.締付けトルクを参考に締付けてください。外径六角締付けの場合■ 適用チューブ及び関連商品スパッタチューブ………P.836チューブストリッパカッタ………P.854チューブフィッティングスパッタ………P.248
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