スピードコントローラ
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418http://www.pisco.co.jp/チューブ手動弁調質機器制御機器受注生産品技術資料速度制御弁速度制御弁耐腐蝕用速度制御弁クリーン速度制御弁耐スパッタニードル弁ニードル弁耐腐蝕用ニードル弁クリーン急速排気弁排気絞り弁固定絞り弁圧力制御弁圧力ゲージ逆止弁消音器固定式速度制御弁ニードル弁耐スパッタ小型ユニオンストレートタイプ00200406080100120140160180200123456789100.50.70.90.30.1150250100500.10.20.30.40.50.60.70.80.9ニードル回転数流量(ℓ/min[ANR])流量(ℓ/min[ANR])圧力(MPa)自由流制御流圧力(MPa)JSMU 4 5/32適用シリンダチューブ内径Max. ø20mm005001001502002503003504001234567891112100.50.70.90.30.15004001002003000.10.20.30.40.50.60.70.80.9ニードル回転数流量(ℓ/min[ANR])流量(ℓ/min[ANR])圧力(MPa)自由流制御流圧力(MPa)JSMU 6 1/4JSMU 10 3/8JSMU 8 5/16 0100020030040050060070080012345678910110.70.90.50.30.1ニードル回転数流量(ℓ/min[ANR])制御流圧力(MPa)04006008002000.10.20.30.40.50.60.70.80.9流量(ℓ/min[ANR])圧力(MPa)自由流04006008001000120014002000.10.20.30.40.50.60.70.80.9流量(ℓ/min[ANR])圧力(MPa)自由流020004006008001000120014001600123456789101112130.70.90.50.30.1ニードル回転数流量(ℓ/min[ANR])制御流圧力(MPa)適用シリンダチューブ内径Max. ø32mm適用シリンダチューブ内径Max. ø50mm適用シリンダチューブ内径Max. ø63mmJSMU 12 1/201000140020002000.10.20.30.40.50.60.70.80.9流量(ℓ/min[ANR])圧力(MPa)自由流050001000150020002500123456789101112130.70.90.50.30.1ニードル回転数流量(ℓ/min[ANR])制御流圧力(MPa)適用シリンダチューブ内径Max. ø80mm400600800120020016001800

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